臺式掃描電子顯微鏡利用高能電子束與樣品表面相互作用，從而獲得樣品表面形貌、成分和結構信息。由電子槍發(fā)射的電子束經過柵極靜電聚焦后成為點光源，然后在加速電壓作用下，經兩三個透鏡組成的電子光學系統，電子束被會聚成幾十埃大小并聚焦到樣品表面。該入射電子束在物鏡上方掃描線圈的驅動下，在試樣表面的微小區(qū)域進行有序的光柵掃描。高能電子束射入試樣后，在其表面激發(fā)出二次電子、背散射電子、X射線和俄歇電子等多種信息，這些信息被相應的探測器收集并轉換為電信號，經過放大處理后在顯示器上顯示出樣品表面的圖像。
臺式掃描電子顯微鏡的性能特點：
-小巧便攜：相比傳統的落地式掃描電子顯微鏡，體積小巧，可安放在實驗臺面上操作，便于在不同實驗室或現場使用。
-分辨率高：具有較高的分辨率，能夠清晰地觀察到樣品表面的微觀結構和細節(jié)。
-操作簡單：通常配備有人性化的操作界面和自動化功能，使得操作更加簡單方便，即使是非專業(yè)人員也能快速上手。
臺式掃描電子顯微鏡的使用注意事項：
1.真空包裝：在給試品檢驗前，一定要進行真空包裝妥善處理。臺式掃描電鏡是靠離子束掃描儀物品表面來顯像的，氣體的出現會使離子束變形，影響掃描儀實際效果。
2.樣品處理：確保樣品表面清潔、干燥且無油污，以免影響觀察效果。對于非導電樣品，需要進行噴金或噴碳處理以增加其導電性。
3.參數設置：根據樣品的性質和觀察需求，合理設置加速電壓、工作距離等參數。過高的加速電壓可能會損傷樣品，而過低的電壓則可能導致圖像質量不佳。
4.避免碰撞：在調整樣品位置或更換樣品時，要小心操作，避免碰撞鏡頭和樣品座。
5.定期維護：定期對電鏡進行清潔和維護，包括清理灰塵、檢查零部件磨損情況等，以確保其長期穩(wěn)定運行。
6.安全操作：在使用電鏡時，要遵守相關的安全規(guī)定，如佩戴防護眼鏡、避免觸摸高壓部件等。
